×

Language

|
|
EN
MASTER-18微波消解仪:微波消解半导体薄膜材料
2021-10-19
分享到:

1前言

半导体膜是指由半导体材料形成的薄膜。随着制备半导体薄膜的技术不同,在结构上可分为单晶,多晶和无定形薄膜。半导体材料是微电子和光电子器件的主要材料,特别是大规模集成电路芯片上元件的集成度越来越高,元件的尺寸越来越小,半导体薄膜是构成这类器件的基本材料 我们选择一种半导体薄膜材料,探索最适合的消解参数,有利于后续对多种无机元素的快速准确测定。

2仪器与试剂

2.1 仪器


新仪MASTER-18微波消解仪,赶酸器,分析天平(十万分之一)

2.2 试剂

硝酸(68%),氢氟酸(40%

3实验方法

精确称取半导体薄膜材料50mg(精确至0.1mg缓慢滴加8mL硝酸(剧烈反应,释放气体),静置10min左右,待无明显反应后,补加2mL氢氟酸,组装消解罐,按照如下设置参数进行实验:


实验结束后,待冷却至60℃以下,取出消解罐转移至通风橱中缓慢打开,赶酸稀释后,样品可完全消解至澄清透明状态。

4结果

实验选取的半导体薄膜材料样品,取样为50mg,加入硝酸静置后,补加氢氟酸,最高实验温度210℃,保温40min左右,样品可完全消解。

5注意

1)添加氢氟酸进行实验后,需进行赶酸处理,防止氢氟酸对玻璃器皿造成腐蚀,也可能会对实验结果造成影响。

2)添加硝酸后样品反应剧烈,实验过程中应缓慢加入或者分多次加入硝酸,同时实验人员需做好防护。

服务热线:0531-88874444          服务邮箱:China@hanon.cc
  • 总部 | 海能未来技术集团股份有限公司
    0531-88874444